氫氟酸腐蝕硅芯的原理
來源:http://m.pk8u8.com/news546046.html發(fā)布時間:2018-02-28
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由于氫氟酸能將硅芯及橫梁表面的二氧化硅和硅溶解生成氯化硅,但單純的氫氟酸對硅棒的腐蝕作用極慢,又由于濃硝酸能將硅氧化膜(sio2),但氧化膜是難溶物質,既不溶于水,也不溶于硝酸,因此單純的硝酸也不能得到對硅芯及橫梁表面進行腐蝕清洗的目的。
然而,在氫氟酸和濃硝酸的混合腐蝕液中,首先氫氟酸將硅芯及橫梁表面的二氧化硅溶解,然后硝酸使硅芯及橫梁表面單質硅氧化為二氧化硅,之后氫氟酸又將硝酸氧化產生的這層氧化膜溶解掉,兩種酸如此交替作用從而使硅芯及橫梁表面剝落掉一層,即可實現(xiàn)清潔硅芯及橫梁的目的,通常我們是將硅芯及橫梁在硝酸和氫氟酸的體積比為5:1的濃硝酸和氫氟酸混合液中進行腐蝕清洗。其化學反應式如下:Si+6HF(濃)+4HNO3(濃)=H2SiF6+4NO2+4H2O+熱量
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